中低橡膠空氣彈簧，中低橡膠空氣彈簧減壓條件下的流動(dòng)氣體環(huán)境已用于低壓化學(xué)蒸發(fā)淀積、減壓外延和幾種等離子體工藝過(guò)程。所有這些工藝的共同環(huán)節(jié)是抽除有害氣體。機(jī)械橡膠空氣彈簧和松夏橡膠空氣彈簧很適用于維持10至104Pa范圍的動(dòng)態(tài)壓強(qiáng)。在低壓化學(xué)蒸發(fā)淀積和等離子體工藝過(guò)程中，通過(guò)反應(yīng)室的氣流主要用來(lái)連續(xù)補(bǔ)充在生長(zhǎng)或蝕刻過(guò)程中所消耗掉的反應(yīng)劑。

氣體的消耗率和基片的數(shù)最、橡膠空氣彈簧的面積、膜層的生長(zhǎng)速率和氣體反應(yīng)劑的稀釋度與消耗量有關(guān)。在某些商用減壓外延工藝中，大的氣流量稀釋反應(yīng)劑以進(jìn)行生長(zhǎng)而不是蝕刻。在低壓強(qiáng)下外延硅時(shí)，的反應(yīng)劑氣體流通常需要用左右的氫氣來(lái)進(jìn)行稀釋，并流過(guò)103至104帕壓強(qiáng)的反應(yīng)室。減壓外延是一個(gè)相當(dāng)新的技術(shù)，對(duì)于工藝過(guò)程的主要部分將保持這樣大小的載氣流量這一點(diǎn)是不楚的。